產(chǎn)品展示
    
  熱銷產(chǎn)品
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        一鍵式測(cè)量?jī)x[2020/4/11]
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        NVC500大行程系列量測(cè)儀[2018/4/9]
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        NVC700大行程系列量測(cè)儀[2018/4/9]
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        VMT400二維三維復(fù)合型光學(xué)影像測(cè)量?jī)x[2018/4/9]
 
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技術(shù)支持:安先生 13736183909
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 白光干涉儀SIS系列 添加時(shí)間:2018/4/9
			
          
          
        產(chǎn)品詳情
          
		基本信息
	
	| 品牌: | SNU | 型號(hào): | SIS 1200 | 操作方式: | 手動(dòng) | 
| 功能: | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 : | 1nm | ||
| 其它型號(hào): | |||||
		產(chǎn)品介紹
	
	
		   白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù),是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),,為韓國(guó)SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商,LPL友好俱樂部成員,清華大學(xué),臺(tái)灣大學(xué),首爾大學(xué)友好合作伙伴。
	
	
		產(chǎn)品特點(diǎn)
	
	
		1、非接觸式測(cè)量:避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
	
	2、三維表面測(cè)量:表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率:垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器:實(shí)現(xiàn)測(cè)量?jī)H需要幾秒鐘。
6、掃描儀:采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái):氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件:基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
		技術(shù)參數(shù)
	
	| 
						 
							機(jī)型
						 
					 | 
					
						 
							SIS 1200
						 
					 | 
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							工作臺(tái)
						 
					 | 
					
						 
							尺寸
						 
					 | 
					
						 
							250 mm×174 mm
						 
					 | 
				
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							傾斜度
						 
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							±3 °
						 
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							測(cè)量行程
						 
					 | 
					
						 
							X:150mm   Y:100mm
						 
					 | 
				|
| 
						 
							Z軸行程
						 
					 | 
					
						 
							50mm
						 
					 | 
				|
| 
						 
							運(yùn)動(dòng)方式
						 
					 | 
					
						 
							手動(dòng)
						 
					 | 
				|
| 
						 
							掃描速度
						 
					 | 
					
						 
							30μm/sec
						 
					 | 
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| 
						 
							垂直分辨率
						 
					 | 
					
						 
							0.1nm
						 
					 | 
				|
| 
						 
							CCD
						 
					 | 
					
						 
							黑白CCD, 640×480 像素
						 
					 | 
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							物鏡安裝架
						 
					 | 
					
						 
							手動(dòng)導(dǎo)引五孔式
						 
					 | 
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							鏡頭選配
						 
					 | 
					
						 
							鏡頭:5×、10×、20×、50×
						 
					 | 
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		應(yīng)用領(lǐng)域
	
	
		1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
	
	2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高??蒲?br /> 5、精密加工
		附件
	
	
		水準(zhǔn)測(cè)量器、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等 
	
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