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白光干涉儀SIS2000 添加時(shí)間：2018/4/9
產(chǎn)品詳情
基本信息
| 品牌： | SNU | 型號(hào)： | SIS 2000 | 操作方式： | 自動(dòng) |
| 功能： | 檢測(cè)、觀察、分析 | 精度 ： | 1nm | ||
| 其它型號(hào)： | |||||
產(chǎn)品介紹
白光干涉儀SIS系列采用增加相位掃描干涉技術(shù)，是專為準(zhǔn)確測(cè)量表面輪廓、粗糙度、臺(tái)階高度和其他表面參數(shù)而設(shè)計(jì)的微納米測(cè)量系統(tǒng),，為韓國SAMSUNG全球唯一指定供應(yīng)商，LPL友好俱樂部成員，清華大學(xué)，臺(tái)灣大學(xué)，首爾大學(xué)友好合作伙伴。
產(chǎn)品特點(diǎn)
1、非接觸式測(cè)量：避免物件受損。
2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
2、三維表面測(cè)量：表面高度測(cè)量范圍為1nm-200μm。
3、多重視野鏡片：方便物鏡的快速切換。
4、納米級(jí)分辨率：垂直分辨率可以達(dá)到0.1nm。
5、高速數(shù)字信號(hào)處理器：實(shí)現(xiàn)測(cè)量僅需要幾秒鐘。
6、掃描儀：采用閉環(huán)控制系統(tǒng)。
7、工作臺(tái)：氣動(dòng)裝置、抗震、抗壓。
8、測(cè)量軟件：基于windows 操作系統(tǒng)的用戶界面，強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
技術(shù)參數(shù)
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機(jī)型
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SIS 2000
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工作臺(tái)
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尺寸
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350mm×350mm
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傾斜度
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±3 °
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測(cè)量行程
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X:200mm Y:200mm
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Z軸行程
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100mm
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運(yùn)動(dòng)方式
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自動(dòng)，馬達(dá)驅(qū)動(dòng)
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掃描速度
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30μm/sec
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垂直分辨率
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0.1nm
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CCD
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黑白CCD， 640×480 像素
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物鏡安裝架
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手動(dòng) 5個(gè)位移的可定位夾具
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鏡頭選配
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鏡頭：5×、10×、20×、50×
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應(yīng)用領(lǐng)域
1、TFT產(chǎn)業(yè)
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高?？蒲?br /> 5、精密加工
2、半導(dǎo)體
3、MEMS
4、高?？蒲?br /> 5、精密加工
附件
水準(zhǔn)測(cè)量器、旋轉(zhuǎn)臺(tái)、CCD、鏡頭、LED光源、掃描控制盒、PZT傳感器、光源控制器等
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